Inovasi Teknologi Lapisan-Lapisan AL2O3 salutan oleh Proses PVD

Sejak Pameran EMO pada tahun 2005 mengumumkan satu kejayaan dalam salutan Al ₂ O ₃ menggunakan PVD, syarikat Belanda Hauzer telah bekerjasama dengan pengeluar alat utama dunia dalam ujian prestasi salutan. Hasil ujian mengesahkan hasil salutan yang diterbitkan sebelum ini di Hauzer for You 10 Magazine: salutan Al ₂ o ₃ yang disalut dengan proses PVD mempunyai lekatan yang sangat baik, sifat kimia yang stabil, dan sangat baik pada suhu sehingga 1100 ° C. Rintangan kepada pakaian kawah dan ketangguhan yang tinggi.

Penerangan proses

Sistem salutan baru ini menggunakan teknik salutan hibrid untuk mencapai pemendapan salutan. Teknologi ini menggabungkan penyejatan arka katodik dengan magnetron tiub dalam proses yang sama. Lapisan tialn yang disembur arc bertindak sebagai lapisan ikat dalam sistem salutan dan/atau menyediakan rintangan lelasan yang diperlukan kepada sistem salutan; Salutan Al ₂ O ₃ menyediakan kestabilan suhu tinggi kepada sistem dan kestabilan kimia.

Dalam sistem salutan hibrid biasa, beberapa arka dan tiub magnetron sputtering katod dipasang. Sebelum pemendapan, bahan kerja dipanaskan ke suhu operasi dan tekanan sistem dikurangkan kepada tekanan asas. Selepas bahan kerja itu tertakluk kepada pembersihan plasma argon atau rawatan etsa logam, salutan pemendapan arka plasma dilakukan, dan al ₂ o _{3 adalah} sputter yang didepositkan pada salutan dengan kaedah PVD melalui sasaran logam yang diletakkan dalam gas bercampur argon-oksigen . salutan. Di samping itu, salutan Al ₂ O ₃ juga boleh digunakan sebagai salutan berasingan kepada beberapa aplikasi pemprosesan khas tanpa memerlukan lapisan asas. Salutan Al ₂ O ₃ telah didepositkan menggunakan teknik pemendapan T-mode Hauzer. Teknologi T-Mode mempunyai reka bentuk katod sputter yang unik yang digabungkan dengan sistem pengedaran gas yang dioptimumkan. Medan magnet tertutup yang dihasilkan oleh gegelung elektromagnet di sekitar substrat menyediakan pengionan tinggi plasma - yang diperlukan untuk mencapai sifat salutan yang dikehendaki. Kelebihan teknologi baru ini ialah prosesnya mudah dikawal dan proses pemendapan sangat stabil dan boleh dihasilkan. Di samping itu, kadar pemendapannya (≥0.5 mikron / jam) dapat memenuhi keperluan kitaran proses pengeluaran ekonomi industri.

Permohonan salutan

AL ₂ O ₃ lapisan digunakan secara meluas dalam sisipan karbida simen, dan kelebihannya, seperti rintangan yang sangat baik terhadap pakaian kawah dan rintangan retak terma, terkenal. Salutan Al ₂ O ₃ biasanya didepositkan pada sisipan karbida bersemangat menggunakan proses CVD. Oleh kerana suhu pemendapan yang lebih tinggi dalam proses CVD, karbida dalam karbida bersemangat menjadi rapuh, yang membatasi penggunaan sisipan dalam pemotongan logam (terutamanya penggilingan). Dalam aplikasi memproses di mana ketangguhan canggih adalah kritikal, proses salutan PVD Al ₂ O ₃ yang baru ini menawarkan kemungkinan pemprosesan pengguna pada suhu pemendapan yang lebih rendah. Terutama apabila penggilingan keluli tahan karat atau bahan-bahan sukar ke mesin, prestasi sistem salutan Al ₂ O ₃ yang baru boleh dua kali ganda berbanding dengan lapisan PVD konvensional.

Hasil ujian medan memproses

Hasil ujian pemotongan terawal telah diterbitkan dalam majalah Hauzer for You 10, ketika Performa Alox-H memulakan debutnya di pameran EMO 2005. Kemudian bekerjasama dengan pengeluar alat utama lain untuk menyelesaikan lebih banyak ujian. Hasil ujian dan gambar salutan bahan bahan kerja X5CRNI1810 dan 42CRMO4V yang diproses oleh alat bersalut Al ₂ O ₃ diterangkan di bawah.

Ujian 1: bahan bahan kerja: x5crni1810; Alat: bilah bersalut karbida; Parameter pemotongan: VC = 251.32 m / min, F = 0.15 mm, AP = 2.5 mm, AE = 24 mm; Panjang pemotongan: 600 mm.

Membandingkan kehidupan PVD bersalut sisipan Performa Alox-H dengan sisipan bersalut konvensional, kehidupan sisipan bersalut PVD Alox-H adalah dua kali ganda.

Ujian 2: Bahan Kerja: 42CRMO4V (DIN 1.7225); Alat: bilah bersalut karbida; Parameter pemotongan: VC = 200 m / min, F = 0.25 mm, AP = 2.5 mm, AE = 20 mm.

Perbandingan haus rata-rata sayap bilah oleh sisipan bersalut PVD Alox-h dan sisipan bersalut konvensional untuk bahan kerja 42CRMO4V menunjukkan bahawa memakai sayap PVD bersalut sisipan Alox-h apabila panjang penggilingan adalah 4000 mm dengan ketara lebih rendah daripada bilah bersalut konvensional.