Senarai parameter teknikal mesin salutan optik multilayer

Model

GX-1050A

GX-800A

GX-900A

GX1200A

Saiz bilik salutan

1050 * 1250304 keluli tahan karat.

800 * 1000

900 * 1050

1200 * 1250

Saiz rongga bersalut

Sokongan perlawanan dari tanah 1680mm, sesuai untuk operasi kejuruteraan manusia.

Sokongan perlawanan dari tanah 1468mm, sesuai untuk operasi kejuruteraan manusia.

Sokongan perlawanan dari tanah 1510mm, sesuai untuk operasi kejuruteraan manusia.

1 sekeping kerja tunggal gerbang, ke tahap yang lebih besar untuk memenuhi keperluan pelanggan untuk keseragaman. Berputar 5-30R/min, perubahan kelajuan stepless.

2 Arch Type Three Plate, putaran planet ini, ke tahap yang lebih besar untuk memenuhi keperluan pelanggan mengenai pengeluaran. Berputar 5-30R/min, perubahan kelajuan stepless.

Perlawanan perkakas

Untuk empat keping, sudut kurungan boleh diselaraskan ke tahap yang lebih besar untuk memenuhi keseragaman pelanggan. Berputar 5-30R/min, perubahan kelajuan stepless.

Sekeping kerja tunggal gerbang, ke tahap yang lebih besar untuk memenuhi keperluan pelanggan untuk keseragaman. Berputar 5-30R/min, perubahan kelajuan stepless.

Sekeping kerja tunggal gerbang, ke tahap yang lebih besar untuk memenuhi keperluan pelanggan untuk keseragaman. Berputar 5-30R/min, perubahan kelajuan stepless.

Sistem vakum

Unit: Pam Penyebaran Dip-12000 (Lai Bao), Zjy-300 2x-70 Roots Pam, Pam Mekanikal, Pam Penyelenggaraan 2x-8. Paip untuk 304 keluli tahan karat.

Unit: Pam Penyebaran KT-400 (Zhen Hua), ZJY-150 2X-70 Roots Pump, Pam Mekanikal, Pam Penyelenggaraan 2x-8.

Unit: Pam Penyebaran KT-600 (Zhen Hua), ZJY-600 2X-70 Roots Pump, Pam Mekanikal, Pam Penyelenggaraan 2x-8.

Unit: Pam Penyebaran KT-800 (Zhen Hua), ZJY-600 2X-70 Roots Pump, Pam Mekanikal, Pam Penyelenggaraan 2x-8.

Ultimate Vacuum: Lebih baik daripada 4 x PA 10-4.

Konfigurasi Peralatan Anti Turbulensi, Reka Bentuk Interlock Keselamatan, Manual, Pilihan Automatik.

sistem pemanasan

Paip pemanasan pada mod pemanasan, kawalan PID, tertinggi 350 C + 1.5.

Inflasi gas

Instrumen kawalan aliran massa gas atau injap pengecasan pelarasan halus.

Pengeboman pengionan vakum

DC 3KV, 06kW Rod Cathode (untuk salutan sebelum pembersihan diri bahan kerja).

Sumber penyejatan (pilihan)

1 Telemark-270 Gun Electron (Import), 6kW, Tekanan Tinggi 4KV-10kV boleh laras. Pengimbasan, pengimbasan, pengimbasan bulat dan pengimbasan lingkaran. Tumpuan tempat rasuk adalah baik, ketepatan kedudukan adalah tinggi, dan kebolehulangannya adalah baik.

2 Pistol elektron domestik (Zhen Hua): 6kW, tekanan tinggi 4 kV ~ 8kV laras, boleh memilih gelombang segitiga secara bebas, gelombang sinus, pengimbasan gelombang persegi.

3: Enam lubang phi crucible 38 * 20 atau empat lubang phi 38 * 20 ditambah 87 titik pusat arka arc crucible (untuk sejumlah besar bahan penyejatan titik lebur yang rendah) atau empat mata dengan 48 x 18 crucible.

Sumber ion (pilihan)

1 RF (frekuensi radio) sumber ion (import).

2 5KVA Sumber ion Holzer (Zhen Huachan), yang digunakan untuk elektroplating sebelum proses pembersihan atau penyaduran untuk membantu penyaduran, adalah kondusif untuk meningkatkan indeks biasan filem, ketegasan, meningkatkan ketumpatan filem, melekat.

Sistem Kawalan Ketebalan Filem (Pemilihan)

1.MDC-360 peranti kawalan kristal (diimport) boleh menyimpan 1 ~ 99 Lapisan proses salutan automatik, 99 jenis data program, ketepatan 0.5%+1 ralat tetap. 2TeleMark-880 peranti kawalan kristal (diimport): Boleh menyimpan 1 hingga 99 lapisan proses salutan automatik, 99 jenis data program. Ketepatan 0.5%+1 ralat tetap.

3.TeleMark-820 Photocontroller (Import): Akhir spektrum penuh menggunakan teknologi analisis panjang gelombang, melalui penghantaran pemantauan 370-870 mm (atau reflektif) analisis untuk menentukan akhir filem. Ketepatan kawalan adalah tinggi, dan kawalan panjang gelombang tunggal, kawalan automatik dan kawalan manual boleh digunakan. Perisian pengiraan sistem membran Macileod tambahan, tahap integrasi yang tinggi.

4. Pengawal Cahaya Telemark-820 dengan pengawal Telemark-880 boleh memenuhi filem kristal dengan ketepatan yang tinggi dan keperluan pengulangan yang tinggi. Dengan komputer tuan rumah dapat merealisasikan kawalan automatik.

5 Photocontroller domestik (seperti jenis 9704 yang menyokong panjang gelombang monokromator 330 ~ 870 dan lain -lain) laras, ketepatan boleh mencapai 1.5nm.

Peranti yang dikendalikan tangan

Dengan asas magnet, boleh diletakkan di pintu ruang vakum dan mengawal kedudukan kabinet sewenang -wenangnya.