2024-05-06
Inovasi Teknologi Lapisan-Lapisan AL2O3 salutan oleh Proses PVD Sejak Pameran EMO pada tahun 2005 mengumumkan satu kejayaan dalam salutan Al 2 O 3 menggunakan PVD, syarikat Belanda Hauzer telah bekerjasama dengan pengeluar alat utama dunia dalam ujian prestasi salutan. Hasil ujian mengesahkan hasil salutan yang diterbitkan sebelum ini di Hauzer for You 10 Magazine: salutan Al 2 o 3 yang disalut dengan proses PVD mempunyai lekatan yang sangat baik, sifat kimia yang stabil, dan sangat baik pada suhu sehingga 1100 ° C. Rintangan kepada pakaian kawah dan ketangguhan yang tinggi. Penerangan proses Sistem salutan baru ini menggunakan teknik salutan hibrid untuk mencapai pemendapan salutan. Teknologi ini menggabungkan penyejatan arka katodik dengan magnetron tiub dalam proses yang sama. Lapisan tialn yang disembur arc bertindak sebagai lapisan ikat dalam sistem salutan dan/atau menyediakan rintangan lelasan yang diperlukan kepada sistem salutan; Salutan Al 2 O 3 menyediakan kestabilan suhu tinggi kepada sistem dan kestabilan kimia. Dalam sistem salutan hibrid biasa, beberapa arka dan tiub magnetron sputtering katod dipasang. Sebelum pemendapan, bahan kerja dipanaskan ke suhu operasi dan tekanan sistem dikurangkan kepada tekanan asas. Selepas bahan kerja itu tertakluk kepada pembersihan plasma argon atau rawatan etsa logam, salutan pemendapan arka plasma dilakukan, dan al 2 o 3 adalah sputter yang didepositkan pa